新葡萄京娱乐app下载 > 资讯资讯 > 企业公告企业公告

澳门新萄京最大平台光刻技术和光致抗

发表时间:2016/11/29 8:59:52 阅读次数:

光刻图像,是  第二讲 澳门新萄京最大平台光刻技术和光致抗蚀剂401 掩模所提供的图案的“负像”,就像普通照相中的底片一样,故称为负性光刻胶。   最早被开发出来,成功地用于生产的负胶,是聚乙烯醇肉桂酸酯系列的化合 物,目前市售的KPR胶或PVAC胶即属此类。它们的结构式如下式所示: ..CH2—CH2..  O 聚乙烯醇部分 CO  CH  CH  肉桂酸根部分   庎    从上述结构式可以看出,聚乙烯醇部分构成了高分子链的主体,在未发生交 联以前,这种树脂是线性高分子化合物组成的,是可溶性的。但在该高分子化合 物的侧链上有肉桂酸部分,其中一个双键是不稳定的,在光照条件下双键发生断 键,并互相交


联,形成不溶性的网状大分子。这就是这类树脂的感光性基团,也 是其发生光固化的根据。但这类感光树脂在结构上存在一些致命的弱点,主要 是:这类感光树脂的感光性基团是在侧链上,而侧链与主链间是靠酯键联结起来 的。而酯化程度一般不可能达到100%,酯化程度不高就导致这种感光树脂的 感光性及溶解度降低,进而使其抗蚀性能也大大降低,作为光刻胶的品质和使用 效果都较差。另外酯键的强度较差。在光刻过程的多道工序中,特别在酸性或 碱性介质中很容易断键,因而耐酸碱刻蚀的能力不强。人们致力于寻找新的更 优秀的负性抗蚀剂。1958年美国柯达企业开发并推出环化橡胶类的负性抗蚀 剂。它主要是由天然


橡胶或聚异戊二烯合成橡胶,在酸性催化剂,如对甲苯磺酸 的催化下,部分链节进行环化,同时聚合物长链发生降解,转变成为相对分子质 量较低的带有环状结构的“断片”。这种 “断片”称为“环化橡胶”。环化橡胶中 仍保持有一部分双键,这部分双键在受光照时也能发生加成反应,形成交联,这 是环化橡胶能作为负性胶的根据。但是这部分双键对光的敏感性不强,单靠它 们自身发生光交联比较困难,不能适应光刻的要求。因而在环化橡胶抗蚀剂内, 必须添加一定量的芳香族双叠氮化合物作为光交联剂。这类双叠氮化合物对特 定的光波十分敏感,受光照后两个叠氮基马上分解,形成具有两个自由基的双氮 烯自由基: ·N—R—N ·。这种双氮烯自由基十分活泼,可作为游离基反应的引发 剂,在环化橡胶分子的双键部分引起开键加成,而双氮自由基自身也可对双键加 成而作为“架桥剂”,把环化橡胶分子彼此交联起来,造成环化橡胶的固化。因 此这类抗蚀剂应该称为环化橡胶双叠氮化物抗蚀剂,但通常为方便起见就简

更多新葡萄京娱乐app下载相关常识要点请关注大家微信!

-5低温恒温槽-立式
多用途恒温超声提取机
手提式总有机碳分析仪
XML 地图| Sitemap 地图